一、方法簡(jiǎn)介
TE01δ模介質(zhì)諧振器技術(shù)是一種非常精準(zhǔn)的測(cè)量塊狀低損耗盤狀或柱狀介質(zhì)陶瓷復(fù)介電常數(shù)的技術(shù)。通過(guò)矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量樣品放置前和放置后諧振峰的頻率偏移量△f 以及品質(zhì)因數(shù) Q值變化，基于嚴(yán)格的電磁場(chǎng)分析，得到介質(zhì)材料復(fù)介電常數(shù)的準(zhǔn)確解。測(cè)試系統(tǒng)如圖 1 所示。
圖1 標(biāo)號(hào)說(shuō)明：1.樣品腔，2.被測(cè)材料，3.支撐柱，4.耦合探針，5.微波測(cè)試線纜，6.矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，7.耦合調(diào)節(jié)螺紋。
二、操作步驟
（一）測(cè)量樣品直徑和高度，并記錄。將USB 授權(quán)鑰匙插入電腦，并打開(kāi)測(cè)量軟件。按照?qǐng)D1 所示連接系統(tǒng)，如下圖所示：
（二）測(cè)試分為手動(dòng)測(cè)試和自動(dòng)測(cè)試。本公司提供與客戶矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀相配套的測(cè)試軟件，可進(jìn)行自動(dòng)測(cè)試，使用其它矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀則只能進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。
1、手動(dòng)測(cè)試
（1）利用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量空腔狀態(tài)（閉式諧振腔內(nèi)未放入被測(cè)樣品）諧振頻率f和相應(yīng) Q 值，期間需要調(diào)節(jié)耦合探針深度，使諧振峰處散射參數(shù)S21 模值處于-40dB~ -50dB 之間，并記錄，如下圖所示：
（2）將樣品放置于腔內(nèi)，測(cè)量加載樣品后的諧振峰 f 和相應(yīng) Q 值，使用調(diào)節(jié)螺紋調(diào)節(jié)耦合探針深度，使諧振峰處散射參數(shù) S21 峰值處于-25dB~-50dB 之間，然后記錄，放入樣品后諧振峰會(huì)左移，如下圖所示。
（3）將空腔諧振頻率和相應(yīng)Q值、加載樣品后的諧振頻率和相應(yīng)Q值、樣品直徑和高度依次輸入測(cè)量軟件，點(diǎn)擊計(jì)算得到介質(zhì)材料介電常數(shù)與損耗角正切。
2、自動(dòng)測(cè)試
（1）在軟件測(cè)試界面點(diǎn)擊自動(dòng)測(cè)試測(cè)量空腔狀態(tài)（閉式諧振腔內(nèi)未放入被測(cè)樣品）諧振頻率 f 和相應(yīng)Q 值。
（2）將樣品放置于腔內(nèi)，軟件界面點(diǎn)擊添加樣品，輸入樣品的直徑和高度，點(diǎn)擊自動(dòng)測(cè)試測(cè)量加載樣品后的諧振峰f 和相應(yīng)Q 值，然后點(diǎn)擊計(jì)算得到介質(zhì)材料介電常數(shù)與損耗角正切。
（三）提示
樣品加工誤差應(yīng)盡可能小，樣品加工誤差越小，測(cè)試越精準(zhǔn)。對(duì)于手動(dòng)測(cè)試介電常數(shù)，應(yīng)注意：
1、空腔參數(shù)設(shè)置可采用默認(rèn)值，提高測(cè)試效率，但準(zhǔn)確度稍有下降。
2、關(guān)于諧振峰的判斷：根據(jù)電磁諧振的原理，腔內(nèi)會(huì)形成多個(gè)諧振模式，網(wǎng)絡(luò)分析儀會(huì)測(cè)得多個(gè)諧振峰，錯(cuò)誤的諧振峰，會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的測(cè)試結(jié)果，諧振峰的判斷方法如下：空腔諧振峰頻率固定在某一定值x附近，容易識(shí)別。而放置樣品后的諧振峰，其左移量與樣品的尺寸和介電常數(shù)相關(guān)，但必定小于x，一般在小于 x的頻段會(huì)出現(xiàn)幾個(gè)干擾峰影響判斷，識(shí)別方法：抬起諧振腔上蓋，觀察諧振峰的變化情況，正確的諧振峰會(huì)稍往左偏移，峰消逝不明顯，而干擾峰會(huì)有明顯消逝現(xiàn)象。
3.、網(wǎng) 絡(luò) 分 析 儀 參 數(shù) 設(shè) 置 建 議 ：
（1）掃 頻 點(diǎn) 數(shù) ＞ 1600（sweep->point :1600）；
（2）中頻帶寬：＜10kHz（IF：10KHz）；
（3）使用光標(biāo)功能自動(dòng)追蹤諧振峰（Marker->Marker Search->Bandwidth）
三、開(kāi)箱檢查及注意事項(xiàng)
(一)外觀整潔、完好；
(二)無(wú)明顯劃痕、變形、開(kāi)裂、銹蝕或其它形式的損壞；
(三)緊固件無(wú)缺件、松動(dòng)，結(jié)構(gòu)件平整、光滑、無(wú)損壞。
四、使用過(guò)程注意事項(xiàng)
(一)諧振腔為二端口微波器件，接口類型為 SMA-Female，注意保護(hù)接口，接口內(nèi)不能進(jìn)異物，使用與之機(jī)械兼容的射頻線纜進(jìn)行連接；
(二)操作時(shí)，操作人員應(yīng)輕拿輕放，謹(jǐn)防碰撞、擦劃；
(三)使用完畢后，用護(hù)蓋保護(hù)好同軸接口端，防止進(jìn)入粉塵。
五、軟件安裝及注意事項(xiàng)
測(cè)試軟件為Windows 免安裝應(yīng)用程序，操作系統(tǒng)要求 Windows 7 及以上，電腦端插入授權(quán)鑰匙即可正常使用。
